时隔半年,继“破晓(PoX)”皮秒闪存器件问世后,复旦大学在二维电子器件工程化道路上再次取得重大突破。复旦大学集成芯片与系统全国重点实验室研发的“长缨(CY-01)”架构将二维超快闪存器件“破晓(PoX)”与成熟硅基CMOS工艺深度融合,成功研发出全球首颗二维-硅基混合架构芯片。这一突破攻克了新型二维信息器件工程化的关键难题,为新一代颠覆性器件缩短应用化周期提供了范例,并为推动信息技术迈入全新高速时代提供强力支撑。相关研究成果以《全功能二维-硅基混合架构闪存芯片》为题,于北京时间10月8日晚间在《自然》期刊上发表。从原子级器件到功能芯片,跨越“从实验室到工厂”的鸿沟,大数据与人工智能时代对数据存取性能提出了极高要求,而传统存储器的速度与功耗已成为阻碍算力发展的主要问题之一。今年4月,周鹏-刘春森团队提出“破晓”二维闪存原型器件,实现了400皮秒超高速非易失存储,是迄今最快的半导体电荷存储技术,为打破算力发展困境提供了底层原理。
然而,颠覆性器件要真正走向系统级应用往往需要很长时间。回溯硅基芯片的发展历程,半导体晶体管自1947年诞生起,历经贝尔实验室、仙童与英特尔等顶尖力量二十余年的接力研发,才催生出全球第一颗CPU。作为集成电路的前沿领域,二维电子学近年来获得诸多关注,但研究者们最关心的问题是如何加速产业化进程,让二维电子器件走向功能芯片。周鹏-刘春森团队主动融入产业链,尝试从未来应用的终点出发,倒推最具可能性的技术发展路径。
当前,CMOS技术是集成电路制造的主流工艺,市场中的大部分集成电路芯片均使用CMOS技术制造,产业链较为成熟。团队认为,如果要加快新技术孵化,就要将二维超快闪存器件充分融入CMOS传统半导体产线,这也能为CMOS技术带来全新突破。基于CMOS电路控制二维存储核心的全片测试支持8-bit指令操作,32-bit高速并行操作与随机寻址,良率高达94.3%。这也是迄今为止世界上首个二维-硅基混合架构闪存芯片,性能远超目前的Flash闪存技术,首次实现了混合架构的工程化。
为了找到这条“正确的路”,团队前期经历了5年的探索试错,在单个器件、集成工艺等多点协同攻关。团队的第一项集成工作发表于2024年的Nature Electronics,在最理想的原生衬底上实现了二维良率的突破,这为他们在真实复杂的CMOS衬底上解决问题提供了基础。如何将二维材料与CMOS集成又不破坏其性能,是团队需要攻克的核心难题。CMOS电路表面有很多元件,如同一个微缩“城市”,有高楼也有平地,高低起伏;而二维半导体材料厚度仅有1-3个原子,如同“蝉翼”般纤薄而脆弱,直接将二维材料铺在CMOS电路上会导致材料破裂。
团队决定从本身就具有一定柔性的二维材料入手,通过模块化的集成方案,先将二维存储电路与成熟CMOS电路分离制造,再与CMOS控制电路通过高密度单片互连技术实现完整芯片集成。正是这项核心工艺的创新,实现了在原子尺度上让二维材料和CMOS衬底的紧密贴合,最终实现超过94%的芯片良率。团队进一步提出了跨平台系统设计方法论,包含二维-CMOS电路协同设计、二维-CMOS跨平台接口设计等,并将这一系统集成框架命名为“长缨(CY-01)架构”。
衔接起实验室成果与产业化需求,确保理论创新与应用转化能够“双腿并行”,是周鹏-刘春森团队在研究中相互交织的两条主线。依托前期完成的研究成果与集成工作,此次打造出的芯片已成功流片。从基础研究到工程化应用,团队已跨越最艰难一步,后续迭代进程将进一步加快。他们下一步计划建立实验基地,与相关机构合作,建立自主主导的工程化项目,并计划用3-5年时间将项目集成到兆量级水平,期间产生的知识产权和IP可授权给合作企业。
多位业界人士表示看好该成果以更快速度从实验室走向大规模应用,融入个人电脑、移动端设备等场景。存储器产业界代表认为,团队研发的二维器件具有天然的访问速度优势,可突破闪存本身速度、功耗、集成度的平衡,未来或可在3D应用层面带来更大的市场机会。复容投资代表分析,该技术已形成“科学-工程-系统”闭环,符合AI时代算力存储需求,且通过依托成熟CMOS产线,能够缩短研发周期,降低商业化门槛。展望二维-硅基混合架构闪存芯片的未来,周鹏-刘春森团队期待该技术颠覆传统存储器体系,让通用型存储器取代多级分层存储架构,为人工智能、大数据等前沿领域提供更高速、更低能耗的数据支撑,让二维闪存成为AI时代的标准存储方案。
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