专家解读65纳米光刻机的分辨率 技术瓶颈与多重曝光潜力(3)
根据可得的历史资料分析，65纳米分辨率、8纳米套刻精度的光刻机主要适用于65至55纳米的芯片制造过程，无法有效通过双重曝光技术跨入32纳米、28纳米等更精细的制造领域。
(责任编辑：卢其龙 CN070)
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