这项ALD技术 牵引国产半导体设备攻克难关 创新引领多领域突破(2)
在光伏领域的坚实基础上，微导纳米进一步向半导体集成电路薄膜沉积设备领域迈进，成为了国内首个将High-k ALD设备应用于28nm节点集成电路生产线的国产设备商，实现了国产设备在此领域的重大突破。2022年底，公司成功登陆科创板，进一步增强了研发能力，尤其在半导体领域加大投入，规划了一系列创新产品的研发，旨在深化在半导体行业的影响力。
微导纳米还积极探索新兴领域，如钙钛矿电池技术，其自主研发的钙钛矿晶硅叠层电池专用设备已帮助客户达到商业化电池效率的世界纪录。同时，公司正逐步将ALD技术拓展至柔性电子、新能源等新兴产业，持续推动技术进步与产业升级，展现其在多产业布局中的前瞻性和适应性。
综览微导纳米的发展历程，公司不仅在国内市场站稳脚跟，更在全球范围内展示了其技术和产品的竞争力，尤其是在光伏与半导体两大领域，通过持续的技术创新和市场开拓，已成为行业内的佼佼者。
(责任编辑：张小花 TT1000)
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