这项ALD技术牵引国产半导体设备攻克难关创新引领多领域突破

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2024-10-08 09:15:00 证券时报网

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微导纳米，作为国内原子层沉积（ALD）技术设备的领航者，通过自主研发，在技术上取得了关键性突破，有效缓解了国内半导体及光伏产业链中的难题与瓶颈。公司不仅在国内市场独占鳌头，亦在国际舞台上展现出强劲竞争力，积极响应国际化战略，积极拥抱全球市场的机遇与挑战。

在今年6月的德国慕尼黑太阳能光伏展上，微导纳米展示了其TOPCon整线解决方案，涵盖从先进的TOPCon动态沙盘到多种前沿电池技术设备，吸引了大量业内关注。展会期间，公司还推出了“夸父”ALD系统的升级版，该系统在保持高性能的同时，体积缩减约30%，产能提升10%，完美实践了高效紧凑的设计理念。

ALD技术，即原子层沉积技术，是半导体、光伏等多个高科技领域的核心工艺，微导纳米的这项技术因其高精度与均匀性，在市场上备受青睐。公司自2015年由一群在半导体薄膜沉积技术领域有着深厚背景的专家团队创立以来，面对重重困难，始终坚持自主研发，最终在光伏ALD设备市场确立了领导地位。

微导纳米的创业之路始于2015年，由王燕清携手黎微明博士和李翔博士等半导体技术专家共同开启。面对初期的挑战，团队选择将ALD技术引入光伏产业，2016年成功研发的“夸父”设备标志着中国光伏装备的关键技术突破。随后，随着N型电池技术的发展，微导纳米凭借其在光伏市场的技术优势，进一步巩固了行业领导地位，赢得了众多重要客户的信任。

在光伏领域的坚实基础上，微导纳米进一步向半导体集成电路薄膜沉积设备领域迈进，成为了国内首个将High-k ALD设备应用于28nm节点集成电路生产线的国产设备商，实现了国产设备在此领域的重大突破。2022年底，公司成功登陆科创板，进一步增强了研发能力，尤其在半导体领域加大投入，规划了一系列创新产品的研发，旨在深化在半导体行业的影响力。

微导纳米还积极探索新兴领域，如钙钛矿电池技术，其自主研发的钙钛矿晶硅叠层电池专用设备已帮助客户达到商业化电池效率的世界纪录。同时，公司正逐步将ALD技术拓展至柔性电子、新能源等新兴产业，持续推动技术进步与产业升级，展现其在多产业布局中的前瞻性和适应性。

综览微导纳米的发展历程，公司不仅在国内市场站稳脚跟，更在全球范围内展示了其技术和产品的竞争力，尤其是在光伏与半导体两大领域，通过持续的技术创新和市场开拓，已成为行业内的佼佼者。

(责任编辑：张小花 TT1000)

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