图片说明:1998年的上海浦东陆家嘴
在一次国际半导体设备展,老尹与江上舟见了面,但不为人知的是老江居然还是老尹在北京四中的校友,两人相见如故,尹志尧也被江上舟的战略眼光打动了,他两人都有一个共识,半导体芯片将是国之重器。
2000年,张汝京无可奈何地迫于股东压力,出售了世大半导体公司给正与联华电子争霸的台积电。
不久后,江上舟找了一个机会,力邀张汝京返回祖国创业,张汝京名字中的京字不是北京,是自己的故乡南京,为了建设祖国的半导体产业,这位已经退休的老同志顺理成章地受邀回到大陆,创立中芯国际。
图片说明:前往大陆创立中芯国际的张汝京
之后江上舟再次推动了尹志尧回国。
网上曾流传,当时确诊患癌的江上舟对尹志尧说:“我是个癌症病人,只剩下半条命,哪怕豁出命去,也要为国家造出刻蚀机,我们一起干吧!”正是老校友的这句话触动了尹志尧。既然江上舟拼命豁出去,尹志尧他也愿意舍命陪君子一把,为共和国的芯片大业出一份力。
除了人的因素外,今天回过头看,中国改革开放的大势不可逆,当时国家政策同步助力着中国集成电路半导体产业的大发展。
2000年6月,国务院又发布的《鼓励软件产业和集成电路产业发展的若干政策》,被称为影响中国科技业的国务院18号文。
2001年,时任国务院副总理李岚清主持的工作会议中,对18号文件进行了进一步补充,下发了《关于进一步完善软件产业和集成电路产业发展政策有关问题的复函》,即后来的51号文件。根据相关文件,2002年,财政部、税务总局制定了实施细则,对部分芯片企业实行税负达到3%的增值税实行“即征即退”,同时把优惠范围扩大到集成电路产业上游的设计企业和下游的制造商。
人与产业政策的共振换来了21世纪初的海外半导体产业华人专家的回国潮。
但一个已在美国工作多年,并掌握着美国半导体设备技术最高水准与工艺的美籍华人,要想回国,可没这么简单。
美国政府在得知尹志尧要出发回国前,就对其进行了严格的重重审查,把所有的工艺配方、设计图纸都没收了,严防死守这位半导体设备专家将任何技术带回中国。
下定决心的老尹说:“我给外国人做了几十年嫁衣,是时候报效祖国了。”苟利国家生死以,岂因祸福避趋之。
为了达成报国的目标,任何困难都不足以拦住老尹,2004年8月,这位60岁儒雅老人带着自己十余人的海归团队,落地上海。
回国创业的尹志尧一眼就看出了产业图谱中,可以入局的机会。
当时中国几乎没几家真正做集成电路半导体制造设备的公司,那时候的北方华创还没有诞生,12年后,北京电控旗下的七星电子和北方微电子才战略合并出了北方华创公司。
但原本同一个赛道的七星电子、北方微却入局了半导体的另一个分支业务,光伏制造设备。
如前文所讲,当时中国大力发展光伏产业,有需求才有利润,而造电子设备的半导体芯片急需研发投入,大多数公司烧不起这个钱。
不过尹志尧却认为,缺少半导体芯片设备将成为中国半导体产业的软肋,于是他在上海创立了中微半导体设备公司,进入了当时没人愿意砸重金去研发的半导体制造设备领域。
这个领域注定是寒冷与孤独的,且创业初期只有技术没有资金也不行,在江上舟的努力下,他将尹志尧的刻蚀机设备项目列入上海市“科教兴市”的重点项目,说服上海政府通过本地投资公司给予中微科技启动资金,还帮助其争取到了国务院高科技发展重大项目的资助。
在尹志尧的领导下,中微公司三十多人的团队从零开始,仅用3年就开发出了原创设计的双反应台介质刻蚀除胶一体机,这是中国生产出的第一台高端刻蚀设备,效率更比同类产品高出30%以上。同年10月中微成功研发出的65至 45nm的刻蚀机打入全球主流市场。
但与北方华创不同,中微公司因为没有进入国家当时大力扶持的光伏产业,制造光伏业所用的设备,同时,国内芯片企业习惯于采购美国应用材料和泛林的设备,中微公司陷入了艰难的境地,公司财务上遭遇巨大考验,不过老尹非常坚定自己走的方向是正确且光明的,中微没有选择更换赛道,继续专注于研发碳化硅外延片设备、刻蚀设备等产品。
十年磨一剑,终于中微慢慢地开始收获国内外企业的一些订单了,但此时美国商务部也将科技霸权之锤砸向了中国刻蚀机。
当然困难不止来自美国商务部,还有尹志尧老东家美国泛林公司、应用材料公司,他们都对中国企业先后发起的专利战。面对美国打压中国的惯用伎俩,中微公司没有选择缴械投降,而是拿起法律武器保护自己与中国芯片产业,最终中微成功抵挡住了美国政府与美国公司的专利狙击。
终于在2015年2月美国商务部宣布解除对中国出口等离子体刻蚀设备的限制,美商务部在公告中说道:在中国已经有一家非美国的公司有能力供应足够数量及同等质量的刻蚀机,继续现在的国家安全出口管制已达不到其目的了。
最终,从半导体制造巨头台积电、联电、格罗方德到韩国存储芯片大厂SK 海力士都采购起了中微的刻蚀机产品。
中微公司业绩也开始大幅改善,2016财年,中微还处于亏损状态中,2017年转亏为盈,但营收较小,不足10亿元规模,到了2020年,公司营收已突破20亿,且净利润达到近5亿元。
图片说明:中微公司上市
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