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尹志尧:中国已能做最先进设备 中微团队创纪录突破

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2026-05-18 08:04:33  第一财经

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧表示，2023年12月，中微决定进入大平板设备领域。此前大约有17种工艺设备全部依赖进口。这种新设备重达150吨，长宽各15米，高达两层半楼高。按照尹志尧的经验，开发这样的设备通常需要3到7年时间。然而，中微的精锐团队仅用12个月就从零开始做出了可运转的设备，并在不到4个月内达到了客户下一代的要求。整个过程仅用了18个月，设备便运到了生产线上并通过了核准。尹志尧强调，现在中国已经有能力制造最先进的设备。

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