半导体设备是芯片产业的基石，其技术水平直接决定了芯片的性能极限与制造可能性。在全球竞争格局下，该领域已成为保障供应链安全、掌握技术发展主动权的战略制高点。

全球半导体设备市场正经历由人工智能（AI）投资驱动的强劲增长。根据国际半导体产业协会（SEMI）于2025年12月发布的最新预测，2025年全球半导体设备销售额预计将同比增长13.7%，达到1330亿美元的历史新高，并有望在2027年突破1500亿美元大关。晶圆制造设备是最大的组成部分，而满足AI芯片复杂需求的测试设备和先进封装设备增长尤为迅猛。

中国已成为全球半导体设备市场的核心驱动力。SEMI报告显示，2025年第二季度，中国大陆半导体设备销售额约占全球市场的34.4%，首次超过全球市场的三分之一，稳居全球第一大市场。中商产业研究院预测，2025年中国半导体设备市场规模将达2415.3亿元，持续巩固其全球最大单体市场的地位。

市场的壮大伴随着国产化率的快速攀升，这成为中国半导体设备行业最显著的进展。行业数据显示，2025年上半年，国内半导体设备整体国产化率已从去年同期的约23%提升至35%，并有望在年底达到50%。国产设备在刻蚀、薄膜沉积、清洗等多个关键领域均实现了显著的技术突破与市场化应用。

专利实力是衡量企业创新能力和构建市场竞争壁垒的关键。对企业而言，进行系统性的专利布局，是保护核心技术、巩固市场地位的重要战略，也为投资机构评估企业技术竞争力提供了直观的参考维度。爱集微知识产权咨询对中国大陆半导体设备领域企业的专利情况进行了全面梳理，发布中国大陆半导体设备领域企业专利榜单，多维度解读企业专利现状，为公众和投资机构了解中国大陆半导体设备领域企业的技术竞争力提供直观的参考。

数据统计公开/公告日截至2025年9月30日的专利数据，来源IncoPat专利数据库，爱集微知识产权咨询整理。境外专利包含向世界知识产权组织（WO）提出的专利申请和中国台湾地区（TW）专利。各企业间基于相同的规则比较，但数据库收录的数据源、检索方法设定等因素均有可能造成数据结果的偏差，爱集微知识产权咨询保留最终解释权。

爱集微知识产权咨询从专利布局、有效性、技术、法律和经济等五个维度选取客观指标，基于合理的权重生成爱集微专利价值度评分，用以量化企业专利的价值高低。相对于单纯以专利数量排名，爱集微专利价值度提供了更加客观的专利评估指标。根据企业的专利数量和爱集微专利价值度评分，计算得到各企业专利创新实力的分值，在此基础上发布中国大陆半导体设备企业创新实力榜单TOP20。

根据榜单数据，半导体设备行业呈现头部格局整体稳固，中坚力量竞争激烈的格局。北方华创以8,403件的专利总量和5,081分的创新实力分值，实现了对榜单其他企业的断层式领先，彰显了其作为国内半导体设备平台型龙头在全面技术布局与持续高强度研发投入上的绝对实力。

上海微电子、中微公司与中科院光电所构成了实力雄厚的第二梯队。其中，中微公司的表现尤为值得关注，尽管其专利总量显著低于中科院光电所，但凭借更高的专利质量与价值，创新实力分值实现反超，这反映了其在核心的刻蚀设备领域所构建的高价值专利壁垒。这三家机构在排名上与去年保持一致，说明在光刻、刻蚀等最尖端、最关键的设备赛道上，领先者的技术积累和优势地位已非常稳固。

第5-15名企业构成了竞争最为激烈的中坚梯队，创新实力分值集中在500至1000分区间，分别为屹唐半导体、盛美半导体、华兴源创、拓荆科技、苏大维格、长川科技、捷佳伟创、中电科第45所、连城数控、中电科第48所、至纯科技。其中，盛美半导体、拓荆科技、捷佳伟创相比于去年同期在专利创新实力方面的进步明显，表明其近年的技术攻关与专利布局策略取得了显著成效，是梯队中活跃的上升力量。

排名第16-20位的企业依次为赛腾精密、中科飞测、鲁汶仪器、华海清科、天准科技，虽然创新实力分值相对较低（500以下），但相对于去年同期专利创新实力均有提升，也均是各自细分领域的技术领先者，其后续潜力可观。

企业在境外获得专利保护可为其产品进入境外市场保驾护航，能够提升产品的市场地位和竞争优势，因此，境外专利布局对企业参与全球市场竞争与拿到国际市场话语权具有重大意义。爱集微知识产权咨询针对境外专利布局的统计数据，发布了中国大陆半导体设备领域企业国际布局榜单TOP10。

国际布局榜单TOP10中，屹唐半导体表现最为亮眼，其海外专利占比高达81.1%，大幅领先其他企业，这些境外专利较多来自于其收购的MTI。除屹唐半导体外，中微公司、盛美半导体、北方华创、上海微电子的海外专利布局数量也显著高于其他企业，其中中微公司和盛美半导体的境外布局比例较高，展现出较高的国际化前瞻性。

从海外专利占比数据来看，众硅电子、鲁汶仪器、东方晶源、苏大维格、微导纳米等企业虽然目前海外专利布局数量相对较少，但海外专利占比均超过15%，盛美半导体更是高达52%，显示出这些企业具有较高的全球化视野。值得一提的是，苏大维格、微导纳米在今年首次进入TOP10。

以专利被引用情况作为企业的技术对行业技术的贡献大小的参照。专利被引用的情况包括被其他专利文献公开引用，或在其他专利的实质审查程序中审查员将本专利文献作为对比文献在通知书或检索报告中引用。专利被引用数量的多少和专利被引用占比的高低可以反映出企业披露的专利对应的技术方案的研究热度和业内关注活跃度，侧面反映出企业专利的技术先进性和对行业的贡献程度。爱集微知识产权基于各企业被引用专利数量和被引用专利占比的合理权重，生成行业影响力得分，并发布中国大陆半导体设备领域企业专利行业影响榜单TOP10。

行业影响榜单TOP10企业，被引用专利占比均在35%以上。其中，赛腾精密、苏大维格位居第一和第二，专利被引用数量分别为662、584件，被引用专利占比为51.4%、48.22%，表明其专利披露的技术内容受到业内的广泛关注。知常光电科技今年比较亮眼，知常光电科技被引用专利数量相比去年同期显著增加，被引用专利占比达到60.28%，为TOP10中最高，今年首次进入前三甲，在一定程度上体现了其专利技术的“精品化”优势。值得注意的是，新益昌今年首次进入TOP10，反映出行业对其技术实力和创新能力的认可。

近些年，随着国内半导体行业的高速发展，产业需求不断提升，使得半导体设备领域不断涌现很多创新实力强劲的科技型企业。爱集微知识产权咨询针对成立于近10年内的半导体设备企业，综合企业专利年产出量、专利价值度等多维度数据，发布新锐力量榜单TOP10。

从新锐力量榜单可以看出，排名前十的企业中，成立时间多数集中在6-7年，专利年产出量之间相对接近，竞争比较激烈。其中，众硅科技在今年表现突出，成功位居榜首，研发团队来自硅谷的半导体设备和工艺专家组成，主要专注于高端化学机械平坦化抛光(CMP)设备的研发。此外，榜单中，邦芯半导体仅成立5年，但专利年产出量已达到46件，爱集微价值度也高于其他企业，体现了不凡的创新实力。晶亦精微、联讯仪器整体创新水平和研发能力也提升明显，在今年分别位居第二和第四。

爱集微知识产权咨询针对中国大陆半导体设备企业，在综合考虑专利数量、发明专利占比、授权专利与有效专利占比、专利海外布局、被引用比例、专利诉讼、专利转让、专利许可、专利质押、专利撰写水准等指标，进行专利实力星级评价。本次发布的榜单针对中国大陆半导体设备企业，由于企业的发展历史、技术积累、产业规模等多方面的因素，目前在分值上具有一定的差异。公众可通过各个企业间的数据对比，作为企业的技术创新能力、知识产权的重视程度和投入的参考。

爱集微知识产权咨询将持续关注各企业的专利数据更新和专利技术披露，并对榜单进行定期更新，对各个企业的排名变化进行动态监控，作为企业的技术进步与发展的参照。

“集微知产”由曾在华为、富士康、中芯国际等世界500强企业工作多年的知识产权专家、律师、专利代理人、商标代理人以及资深专利审查员组成，熟悉中欧美知识产权法律理论和实务。依托爱集微在ICT领域的长期积累，围绕半导体及其智能应用领域，在高价值专利培育、投融资知识产权尽职调查、上市知识产权辅导、竞争对手情报策略、专利风险预警和防控、专利价值评估和资产盘点、贯标和专利大赛辅导等业务上具有突出实力。在全球知识产权申请、挖掘布局、专利分析、诉讼、许可谈判、交易、运营、一站式托管服务、专利标准化、专利池建设等方面拥有丰富的经验。愿景是成为“ICT领域卓越的知识产权战略合作伙伴”。